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光电产品制造【VOCs治理】及格林斯达环保废气处理工程案例

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文章出处:责任编辑:作者:人气:-发表时间:2017-07-13 16:19:00

  在光电制造行业中,产生废气污染主要有五类产品的制造过程:半导体集成电路、印制电路板(PCB)、电子终端产品、薄膜晶体管液晶显示器(TFT—LCD)、显示屏(LED)。
  1、半导体集成电路制造过程中VOCs的排放:
  半导体制造工艺中,VOCs主要来源于光刻、显影工序,在这些工序中要用有机溶剂(如异丙醇)对晶片表面进行清洗,其挥发产生的废气是有机废气的主要来源之一。同时,在光刻过程中使用的光阻剂(光阻胶)中含有易挥发的有机溶剂,如乙酸乙酯等,在晶片处理过程中产生的有机废气也要挥发到大气中。

 

中芯北方集成电路制造(北京)有限公司有机废气处理系统

 

  2、印制电路板(PCB)制造过程VOCs的排放:
  在单面、双面和多面印制电路板制作工艺中,产生的VOCs工艺环节相对较集中,主要来源于贴膜、烘干、沉铜、印刷等工序,VOCs排放种类主要有甲醛、醇类、(乙醇、异丙醇、丁醇、丙醇)、酮类(丁酮)、脂类(乙酸乙酯、乙酸丁酯)、甲苯、二甲苯等。同时,在有机溶剂的贮存过程中也会有部分VOCs产生和排放。
  3、电子终端产品制造过程中VOCs的排放:
  在电子终端产品制造中,VOCs的主要来源包括电路板清洗剂有机废气、电路板三防喷漆废气、机壳、机箱喷漆废气、机壳注塑废气。这些废气均来自工位上的局部排风系统、特点是排风量大、浓度低。

 

 

  4、薄膜晶体管液晶显示器(TFT—LCD)制造过程中的VOCs的排放:
  包括检查和测试在内,薄膜晶体管液晶显示器(TFT—LCD)的制造生产工艺可达100多道工序,生产过程中要使用多种化学有机溶剂和特殊气体,产生的VOCs量大,组分复杂。TFT液晶面板生产排放VOCs污染物的工序主要集中在阵列工程和彩膜工程两大部分。阵列工程中的光刻,即:涂胶、曝光和显影,以及彩膜工程的黑色矩BM膜制造、彩色矩阵形成(红、绿、蓝,RGB)、保护膜生成、MVA膜、PS膜生成是产生VOCs的主要工艺。同时,在成盒工程中清洗工序使用使用的有机溶剂挥发也会产生少量VOCs。TFT—LCD的制造过程中产生的VOCs主要是以异丙醇为主,其次依序是丙酮、单甲基醚丙二醇、单甲基醚丙二醇乙酸酯、这四种成分占了全部VOCs量的90%以上。
  5、LED显示屏电子制造过程中的VOCs排放:
  LED显示屏电子组件生产产生的VOC是污染物主要来源基片处理和光刻,LED生产过程中产生的VOCs的种类主要有三氯乙烯、丙二醇醚脂、异丙醇、丙酮、丁酮等。

 

  格林斯达环保VOCs废气处理工程案例:
  在光电产品制造废气处理项目中,格林斯达环保(北京)环保科技有限公司具有代表性的大客户环保工程案例有:中芯北方集成电路制造(北京)有限公司的【半导体有机废气处理】低浓度活性炭吸附以及吸附浓缩+RTO热力燃烧环保工程;北京有研硅股半导体制造有限公司废气处理环保工程等等。

 

中芯北方集成电路制造(北京)有限公司有机废气处理系统RTO

 

北京有研硅股半导体制造有限公司废气处理装置

 

   


 

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