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上海积塔半导体酸碱废气处理设备开启自动运行!

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文章出处:责任编辑:作者:李红祥 手机:18410011020人气:-发表时间:2020-04-10 14:39:00

  自上海积塔半导体企业废气处理现场最新消息: 近日,继上海积塔半导体有机废气处理系统设备负荷联动调试运行后,格林斯达现场工程队相继启动了酸/碱废气处理设备洗涤塔自动运行,不日即可正式投入半导体芯片制造废气处理之中。

 

上海积塔半导体酸碱废气处理设备-洗涤塔

上海积塔半导体企业酸碱废气处理设备卧式洗涤塔自动运行中


  因半导体企业芯片制造对生产环境的高要求,半导体制程工序须在密闭的清洁车间内完成。根据半导体企业的要求,酸性、碱性废气处理设备—洗涤塔全部置于车间一层,废气洗涤塔一般采用卧式装置,主要对半导体企业大风量、低浓度酸碱废气进行高效处理。
  上海积塔半导体酸/碱废气处理设备包括:
  半导体酸废气处理设备,废气风量90000CHM,卧式洗涤塔6台。
  半导体碱废气处理设备,废气风量60000CHM,卧式洗涤塔3台。
  半导体EPI碱废气处理设备:废气风量20000CHM,卧式洗涤塔2台。
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