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半导体尾气有毒有污染吗?半导体厂的尾气处理有危险吗?

环保领域专家
  • 格林斯达环保
  • 擅长:半导体废气处理工艺技术,专注环保领域14年

半导体行业中使用的清洗剂、显影剂、光刻胶、蚀刻液等溶剂中含有大量有机物成分,在工艺过程中,这些有机溶剂大部分通过挥发成为废气排放。其废气的主体是VOCs,同时废气中还混合了HCl、氨、HF等危险污染物,分离和处理难度比较大。

半导体气体有毒有害吗?

其实半导体是有点重污染的企业。半导体工厂中会有大量的酸性气体(这些气体来自蚀刻和清洗晶圆等。)由于光刻胶溶液、显影液等用量较大。用在半导体制造过程中,这些溶液主要是有机物质,所以在蚀刻,清洗、薄膜生长等过程中。将使用大量的有机溶剂,包括二甲苯、丙酮、苯、四氯化碳、四氯化碳、二氯化碳F2等。其中,苯是一种剧毒的一级致癌物。

为了防止这些污染伤害员工和污染环境,半导体工厂需要采取极其严格的污染预防措施,包括工作场所空气的实时处理、生产废物的妥善处理等。可以说,如果污染治理的任何一个环节出现问题,都有可能对员工身体造成很大的伤害,也有可能对周围环境造成很大的污染。

半导体厂

生产半导体车间有毒吗?

半导体厂主要生产的产品是半导体晶体棒或是半导体晶片。常见的有硅片、镓砷片、铟磷片等等。其主要原料是含有上述元素的化合物,比如二氧化硅、氧化砷等等。zhi于毒性,要具体分析。

原料上,二氧化硅并没有毒,但是粉末状的二氧化硅气溶胶就会引起尘肺和肺癌,就是有毒的。另外,半导体厂常用的掺杂原料多数有毒,比如硅烷、砷烷等,或是三甲基镓等等化合物。它们或直接是剧毒物质,或其与空气、水等反应后生成的物质有毒。另外,传统生产晶圆的厂,会对晶体棒进行切割,其加工过程中产生的粉末也是有害的,原理和粉尘差不多。

半导体材料有毒吗?

这个影响不大不过看你是接触怎么个半导体材料了,是工厂?在工厂的话就影响就大了,因为半导体大部分是晶体硅,我们都知道硅是一种很特殊的东西,它不溶于各种强酸和各种弱酸,就只能溶于氢氟酸,这也就造成了一个现象,当人体吸入硅粉尘的时候,那就很容易就得了尘肺,而且怎么也治不好。不过现在的操作车间都是无尘化,自动化了,不让人去操作了,但还是有很多的间接车间能受到危害,比如说那些检查芯片的,这也是为什么电视上的芯片工人都带着口罩。而不是在工厂的话,就没什么影响了有辐射的是电器,你不通电就没事。而且危害z大的辐射是微波污染,和半导体没什么关系。

半导体材料有污染吗?

有,半导体在制造过程中一般的污染源包括颗粒污染物、金属离子和化学物质等。

颗粒污染物

颗粒包括空气中所含的颗粒、人员产生的颗粒、设备和工艺操作过程中使用的化学品产生的颗粒等。在任何晶片上,都存在着大量的颗粒。有些位于器件不太敏感的区域,不会造成器件缺陷,而有些则属于致命性的。

金属离子

在半导体材料中,以离子形态存在的金属离子污染物,称为可移动离子污染物(MIC)。这些金属离子在半导体材料中具有很强的可移动性,即使在该器件通过了电性能测试并且从生产厂运送出去,金属离子仍可在器件中移动从而造成器件失效。遗憾的是,绝大部分化学物质中都有能够引起器件失效的金属离子。常见的可移动离子污染物是钠。钠离子同时也是在硅中移动性z强的物质,因此,对钠的控制成为硅片生产的s要目标。

化学物质

化学物质指半导体工艺中不需要的物质。这些物质的存在将导致晶片表面受到不需要的刻蚀,在器件上生成无法除去的化合物,或者引起不均匀的工艺过程。常见的化学物质是氯。在工艺过程用到的化学品中,氯的含量受到严格的控制。

半导体厂

半导体工厂有污染吗?

半导体芯片工厂是有污染的。半导体厂主要生产半导体原材料,比较高纯度的硅,在提炼硅的时候,可能存在空气和水污染。空气污染主要来源于在处理过程中挥发出来的酸性气体,水污染除了有加工使用的化学物质外,还可能带来重金属的污染。

半导体公司污染严重吗?

半导体污染大小关键要看企业环保控制力度大小。半导体芯片公司主要是光刻、封装这块。可能存在的污染也包括空气和水两部分,相对来说,光刻这块水污染的可能性更大一些,而封装这块,由于存在电镀,主要以空气、水污染为主。

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