半导体废气处理


【半导体废气介绍】:随着信息化时代的到来,半导体行业也在迅速发展,半导体厂给社会带来的经济效益及就业率有目共睹的,但随之而来的还有对大气的污染。由于半导体行业对操作室清洁度要求极高,通常使用风机抽取工艺过程中挥发的各类废气,因此半导体行业废气排放具有排气量大、排放浓度小的特点。

【半导体废气成分】:半导体行业废气主要为有机废气和酸碱废气两类。有机类有:非甲烷总烃、氮氧化物、二氧化硫等;酸碱类有:氨气、硫酸雾、氟化物、氯化物、氯气等。

【半导体废气危害】:半导体行业主要是元器件组装焊接过程中对大气的污染和电路板等器件清洗等表面处理过程中因使用一些化学药剂(如硫酸、盐酸、氟氯化碳、四氯化碳、三氯乙烷及其他有机卤化物)挥发造成对大气环境的污染,以及整机装配过程中产生的机械噪声和少量粉尘也会造成环境污染,这些污染气体会造成人群慢性或急性中毒。

半导体废气处理设备/装置

半导体废气处理解决方案/方法

半导体行业废气处理,按照其废气处理工艺分为:酸性废气处理(SEX)、碱性废气处理(AEX)、有机废气处理(VEX)和一般排气(GEX)等;其废气处理系统包括:酸性废气处理设备、碱性废气处理设备、有机废气处理设备等;酸、碱废气处理设备有:洗涤塔,又名喷淋塔、吸收塔;有机废气处理设备有:活性炭吸附装置、直燃式热氧化废气焚烧炉(TO)等。

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半导体废气治理公司/厂家

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废气处理公司

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