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半导体制程清洗工艺废气治理方案(半导体行业酸碱废气处理解决方案)

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  • 格林斯达环保
  • 擅长:14年废气治理经验,助力企业废气达标排放

半导体制程工艺清洗过程中,因使用了大量无机物,直接产生了许多有害物质,如果这些废气不经过尾气处理设备对其进行处理,将会产生较大的环境污染。那么半导体厂尾气处理方法有哪些?格林斯达环保公司为您提供的半导体制程清洗工艺废气治理方案(半导体行业酸碱废气处理解决方案)如下:

半导体废气成分

半导体产业中的酸性废气主要来源于清洗工序,其中使用的清洗剂溶剂中含有大量酸性废气,主要废气成分为硝酸、硫酸、氢氟酸等,在制程工艺过程中,这些大部分通过挥发成为废气排放。

半导体废气处理方案

半导体酸废气处理主要采用方法:喷淋法。

我司根据半导体企业情况,对酸性废气主要采用碱液体二级喷淋法,又称化学洗涤法。因液体自身具有的溶解特性,可以更好地利用酸碱中和去除污染物,而达到大气排放标准,故喷淋法是半导体行业酸碱废气治理普遍采用的主要处理方法。

喷淋洗涤塔工艺

喷淋洗涤塔

通过集气系统及设备直接连接将废气收集起来,在风机的作用下将酸碱废气不间断的向喷淋塔输送,再经过通风管道的输送作用,使废气输送到系统的喷淋塔内,气体在喷淋塔塔内经过碱性洗液的喷淋洗涤过程,废气中所含有的容易产生酸雾的气体成份充分与碱性水雾接触混合并且发生中和反应,并且形成较好的气液两相交和。经过喷淋后的水雾再在洗涤塔内的填料层内形成一个多孔接触面较大的处理层,从而进一步对酸雾进行治理。

加药罐

以上就是《半导体制程清洗工艺废气治理方案(半导体行业酸碱废气处理解决方案)》的全部内容,希望对您了解半导体酸碱废气处理有所帮助。

格林斯达环保专注于企业废气处理,致力于提供系统化工艺排气系统集成方案和自主研发的核心环保设备。有需要请联系:400-9655-098 / 138-1114-8535(同微信)。


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