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TO炉在VOCs废气治理中的应用,您不清楚的直接燃烧炉还有这些!

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TO炉即直燃式热氧化炉常用于半导体企业VOCs废气治理,因其对有机废气净化效率高,而得到电子行业业主的认可。若作为一名企业环保技术人员,您对TO炉全面了解吗?TO炉在VOCs废气治理中的应用,您不清楚的直接燃烧炉还有这些!下面格林斯达环保公司为您详细介绍如下:

TO炉示意图

TO炉即直燃式热氧化炉(thermal oxidizer)是直接燃烧的废气焚烧处理设备(简称TO炉)。将可燃的有害废气VOCs的温度提高到反应温度,从而发生氧化分解成无害物质的装置。

  1. 燃烧温度:760℃-850℃,特殊工况特殊对待。
  2. 停留时间:一般在0.75s以上。
  3. 应对废气浓度:25%LEL,比RTO系统应对浓度要高,不用考虑超温的问题。当废气浓度过高,换热器的材质需要在设计中考量。
  4. VOCs处理效率:99.5%

TO直接燃烧系统

TO直接燃烧炉

TO直燃系统主要包括燃烧机、燃烧室、换热器、热回收装置等进行组成,往往根据实际的工况进行搭配,两段式换热器或三段式换热器,或者搭配导热油锅炉或者蒸汽锅炉系统,TO炉的应用往往是和生产段进行紧密搭配。尽管本体的热回收效率小,但是利用多级热回收,仍然可以实现热能的高效回收利用。

TO炉与RTO炉对比

当TO炉和RTO炉进行对比时,TO炉的结构更加简单,简单带来的好处是稳定性,不像RTO系统阀门众多,单室多室,控制更为复杂。美中不足的是TO的热效率问题,毕竟换热器的热回收能力并没有那么高。

TO炉应用

在半导体(晶圆)行业的应用,大风低浓的工况,选择沸石转轮+TO的工艺和沸石转轮+RTO的工艺进行对比(感兴趣的可以计算二者能耗进行比较)。当前置吸附浓缩系统一致的情况下(浓缩倍率,去除效率),且TO和RTO的规格较小(5000NM3/h以下)。使用的TO炉燃烧机选择不带助燃风机的类型。再进行实际运行能耗对比,两个系统的天然气能耗相近(TO偏高),但TO系统的风阻小于RTO系统。另外从投资成本和运行的稳定性以及处理效率,TO炉的优势就明显了。天然气能耗相当,那么您愿意选择什么废气处理系统呢?

TO炉内部结构图

我们为什么要谈TO炉,其实也是想说明一点没有Z好的工艺,只有适合的工艺。很多采用RTO系统的处理装置,实际的气密性差,蓄热体抗堵性差,废气中含硅,含无机盐,含有油烟等工况,往往只靠RTO并不能良好解决实际问题。

在实际工况中应用TO炉系统,往往不仅是净化废气,同时还实现和生产工艺的搭配。

以上就是《TO炉在VOCs废气治理中的应用,您不清楚的直接燃烧炉还有这些!》的全部内容,希望对您了解VOCs废气治理TO炉有所帮助。


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