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电子半导体行业废气成分及种类介绍

环保领域专家
  • 格林斯达环保
  • 擅长:半导体废气处理工艺技术,专注环保领域13年

半导体行业隶属电子信息产业,属于硬件产业,是以半导体为基础而发展起来的一个产业。上游为半导体支撑业,包括半导体材料和半导体设备。中游按照制造技术分为分立器件和集成电路。在半导体行业当中,半导体材料是此行业的支撑业。半导体材料是指导电率介于金属和绝缘体之间的材料。半导体材料是制作晶体管、集成电路、光电子器件的重要材料。下面为您介绍电子半导体行业废气成分含量及种类:

做半导体产生的废气成分

半导体制程工艺中产生的废气类别大概有:一般气体废气、含毒性物质的废气、有机废气和含有酸性/碱性物质的废气。

对于含有酸性/碱性物质的废气,半导体厂大多采用大型洗涤式中央废气处理系统进行处理。但由于半导体制造工作区域离中央废气处理系统距离较远,因此部分酸性/碱性废气在输送z中央废气处理系统前,常因气体特性导致在管道中结晶或粉尘堆积,造成管道堵塞后导致气体外泄,严重者甚z引发爆炸,危害现场工作人员的工作安全。

半导体厂废气种类

在半导体工艺制程中,需要使用多种特殊气体、大量的酸、碱等化学品以及有机溶剂和挥发性液体,这些气体和化学品在半导体制造的不同工艺中使用会产生废气,这些废气如果没有经过废气处理设备很好的处理便进行排放,将造成严重的问题,不仅影响人们的身体健康,恶化大气环境,造成环境污染的公害事件等,也会成为半导体制造中AMC污染的重要来源。

半导体企业废气一般分为酸性排气、碱性排气、有机废气、砷排和一般排气等。

半导体厂废气处理

(格林斯达环保处理半导体厂废气案例)

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