当前位置:主页 > 行业资讯 > 氟化物废气怎么处理?半导体产业氟化物废气处理方法介绍

氟化物废气怎么处理?半导体产业氟化物废气处理方法介绍

环保领域专家
  • 格林斯达环保
  • 擅长:14年废气治理经验,助力企业废气达标排放

半导体行业在器件生产环节即硅片清洗、刻蚀、去胶等工艺节点,因为使用氟氢酸来清除硅片表面的氧化物,其过程会排放氟化物废气。该废气是一种具有腐蚀性的酸性废气,必须经废气处理设备净化后才能排放。那么,氟化物废气怎么处理?格林斯达环保公司为您提供氟化物废气处理方法介绍:

氟化物废气处理

集成电路制造行业的氟化物废气处理,格林斯达环保公司设计的废气处理方案,氟化物废气治理湿法净化技术工艺,通常采用水、碱性溶液来吸收氟化物,即废气碱洗。

半导体行业氟化物废气处理方法

对于半导体密闭车间机台的氟化物废气通过吸气罩进行收集,由耐腐蚀风机的负压动力吸入排气风管,再送进连接一体的洗涤塔 对废气进行喷淋碱洗,直zhi气体达标后从烟囱高空排出。

 

以上是《半导体产业氟化物废气怎么处理?半导体产物氟化物废气处理方法介绍》全部内容,咨询半导体废气处理方案,了解现场废气处理设备,即刻联系我们。


声明:本网少部分内容整理为互联网,相关信息仅为传递更多信息之目的,不代表本网观点,不拥有所有权。如发现本网有涉嫌抄袭侵权/违法违规的内容,请及时与本网联系,本网将在第一时间对争议内容进行整改处理!

四氟化碳气体怎么处理?半导体四氟化碳废气处理方法介绍

近年来,随着我国半导体工业的快速发展,四氟化碳气体排放量逐年増加,直接排放会造成空气污染,甚z人体吸入高浓度的四氟化碳会出现呼吸困难、呕吐等窒息症状。那么四氟化碳气体怎么...

氢氟酸废气怎么处理?氢氟酸废气处理工艺方法介绍

集成电路制造行业在硅片清洗、刻蚀和去胶时,需要使用氟氢酸来除去硅片表面的氧化物,同时也会排放出氢氟酸废气,需要经过洗涤塔废气处理设备净化后达标排放。那么,氢氟酸废气怎么处...

六氟化硫气体怎么处理?六氟化硫废气泄露回收处理方法介绍

六氟化硫(SF6)常态下是一种无色、无味、无嗅、无毒的非燃烧性气体,分子量146.06,密度6.139g/l,约为空气的5倍。是已知化学安定性z好的物质之一,其惰性与氮气相似。它具有好的热稳定性...

含氟废气怎么处理?如何治理含氟废气?

含氟废气处理方法:稀释法;吸收法;吸附法(干法); 一、稀释法(不建议) 是补充新鲜空气后将含氟废气向高空进行排放,这其实是将废气从一处转向到另一处,而不是根本的治理手段,...

四氟化硅气体怎么处理?四氟化硅废气处理方法介绍

四氟化硅是一种无机物,分子式为SiF4,分子量为104.06。无色、有毒、有刺激性臭味的气体,易潮解,在潮湿空气中可产生浓烟雾。储存需要避免强酸,避免潮湿空气。...

含氟废气处理(含氟废气处理工艺流程装置)

含氟原料在玻璃生产中的应用广泛,采用氟作为乳浊或增白的原料,熔制时排出的废气有较多的氟化物,污染环境。本文将为你介绍含氟废气处理工艺流程及装置。...