当前位置:主页 > 资讯中心 > 氟化物废气怎么处理?半导体产业氟化物废气处理方法介绍

氟化物废气怎么处理?半导体产业氟化物废气处理方法介绍

环保领域专家
  • 格林斯达环保
  • 擅长:废气处理工艺技术,专注环保领域13年

半导体行业在器件生产环节即硅片清洗、刻蚀、去胶等工艺节点,因为使用氟氢酸来清除硅片表面的氧化物,其过程会排放氟化物废气。该废气是一种具有腐蚀性的酸性废气,必须经废气处理设备净化后才能排放。那么,氟化物废气怎么处理?格林斯达环保公司为您提供氟化物废气处理方法介绍:

氟化物废气处理

集成电路制造行业的氟化物废气处理,格林斯达环保公司设计的废气处理方案,氟化物废气治理湿法净化技术工艺,通常采用水、碱性溶液来吸收氟化物,即废气碱洗。

半导体行业氟化物废气处理方法

对于半导体密闭车间机台的氟化物废气通过吸气罩进行收集,由耐腐蚀风机的负压动力吸入排气风管,再送进连接一体的洗涤塔 对废气进行喷淋碱洗,直zhi气体达标后从烟囱高空排出。

 

以上是《半导体产业氟化物废气怎么处理?半导体产物氟化物废气处理方法介绍》全部内容,咨询半导体废气处理方案,了解现场废气处理设备,即刻联系我们。


您有废气处理需求?联系我们:免费咨询热线400-9655-098(法定工作日8:30~18:00),非工作日时间请您拨打138-1114-8535(同微信)进行咨询。期待与您的合作!

含氟废气怎么处理_如何治理含氟废气?

含氟废气处理方法:稀释法;吸收法;吸附法(干法); 一、稀释法(不建议) 是补充新鲜空气后将含氟废气向高空进行排放,这其实是将废气从一处转向到另一处,而不是根本的治理手段,也...

氢氟酸废气怎么处理?氢氟酸废气处理工艺方法介绍

集成电路制造行业在硅片清洗、刻蚀和去胶时,需要使用氟氢酸来除去硅片表面的氧化物,同时也会排放出氢氟酸废气,需要经过洗涤塔废气处理设备净化后达标排放。那么,氢氟酸废气怎么处...

含氟废气有哪些危害?

氟在常温下为气体,化学性质非常活泼,能与很多物质发生化学反应。它在酸性分质中能形成容易溶解的金属络合物,在碱性介质中多以氟离子形态存在。氟污染物主要是氟化氢和四氟化硅,来...

什么是含氟废气_含氟废气是指什么?

什么是含氟废气 含氟废气是含有氟化氯(HF)和四氟化硅(SiF4)等氟化物的工业废气,是大气中的主要污染物之一,主要来源于化工行业的磷肥、冶金行业的铝厂、建材行业的陶瓷、玻璃、水泥、...

四氟化硅气体怎么处理?四氟化硅废气处理方法介绍

四氟化硅是一种无机物,分子式为SiF4,分子量为104.06。无色、有毒、有刺激性臭味的气体,易潮解,在潮湿空气中可产生浓烟雾。储存需要避免强酸,避免潮湿空气。...

四氟化碳气体怎么处理?半导体四氟化碳废气处理方法介绍

近年来,随着我国半导体工业的快速发展,四氟化碳气体排放量逐年増加,直接排放会造成空气污染,甚z人体吸入高浓度的四氟化碳会出现呼吸困难、呕吐等窒息症状。那么四氟化碳气体怎么...

六氟化硫气体怎么处理?六氟化硫废气泄露回收处理方法介绍

六氟化硫(SF6)常态下是一种无色、无味、无嗅、无毒的非燃烧性气体,分子量146.06,密度6.139g/l,约为空气的5倍。是已知化学安定性z好的物质之一,其惰性与氮气相似。它具有好的热稳定性...

氟气有毒吗?氟气会对人体造成哪些危害?

氟气有毒吗? 有毒。氟是一种非金属化学元素。氟是卤族元素之一,它是一种淡黄色 、有剧毒的气体。 氟气的腐蚀性很强,化学性质极为活泼,是氧化性z强的物质之一,甚zhi可以和部分惰性气体...

含氟废气的处理工艺_含氟废气处理工艺流程

含氟废气处理的原理及应用 含氟废气的吸附净化已成功用于电解铝工业排放的废气处理上,它直接以电解铝厂的生产原料氧化铝作吸附剂,将废气中以HF为主的有害物吸附于其上,达到含氟废气...