半导体企业废气怎么治理?

一、半导体企业废气成分

半导体企业废气一般分为酸性排气、碱性排气、有机废气、砷排和一般排气等。

二、半导体企业废气治理工艺及流程

1、半导体企业酸性或碱性废气,格林斯达废气处理公司采用的废气治理工艺为:酸碱中和处理法。

酸碱废气治理工艺流程为:

风管废气收集→酸性/碱性废气洗涤塔化学洗涤→耐腐蚀风机引风→烟囱排气达标排放

2、半导体企业有机废气治理工艺为:直接燃烧法

有机废气治理工艺流程为:

有机废气风管废气收集→沸石转轮吸附浓缩→直燃炉(TO)→烟囱排气达标排放

三、微电子企业废气治理客户成功案例

半导体企业废气治理客户成功案例,详见格林斯达环保官网:中芯集成电路制造(绍兴)有限公司废气治理工程案例。

半导体废气治理客户案例:绍兴中芯

半导体废气治理客户案例:绍兴中芯

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