多晶硅行业废气处理方法有哪些（2种多晶硅废气处理方法）
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多晶硅行业产生的废气对环境和人类危害较大。那么，多晶硅行业废气处理方法有哪些？
多晶硅行业废气处理方法
主要有以下2种：
- 碱液喷淋塔处理法：多晶硅生产中废气、废液直接进入碱液喷淋塔，生成NaCl、CaCl2、SiO2(粉)、Na2SiO3等，然后送到后续的废水处理，进行进一步脱盐和固体废物处理；出喷淋塔的尾气排空。
- 蓄热焚烧处理法：多晶硅生产装置中产生的废气、废液通过缓冲罐缓冲后，进入焚烧炉进行高温氧化反应，把氯硅烷彻底有效地分解，生成SiO2、HCl等，出焚烧炉的高温烟气含有大量的热量，进入余热锅炉进行降温并回收烟气中的余热，利用烟气的余热间接加热脱盐水，使其变成蒸汽回用；烟气经余热锅炉降温后进入过滤器进行气固分离，去除烟气中的SiO2粉尘；除尘后的烟气进入急冷塔，通过水的喷淋降低烟气温度，喷淋降温塔出来的盐酸经过石墨换热器与冷却水换热冷却后进入喷淋装置继续对烟气进行降温，除尘降温后的烟气进入盐酸回收装置回收盐酸，剩余烟气中少量的Cl2和HCl通过碱液淋洗塔淋洗，后经气水分离器将处理后的烟气通过引风机进入烟囱排放。
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