Local Scrubber尾气处理设备

等离子水洗Local Scrubber设备:去除半导体Dry Etch、ThinFilm、Diffusion等晶圆工艺…【查看应用案例

设备价格 ¥100-1000000 非标品

设备品牌:GREENSTAR

设备厂家:安徽格林斯达环保设备有限公司

咨询热线:138-1114-8535 / 400-9655-098

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等离子水洗Local Scrubber设备:去除半导体Dry Etch、ThinFilm、Diffusion等晶圆工艺制程中使用或产生的PFC温室气体和有毒有害气体,如:CF4、NF3、SF6、C2F6、CHF3、CH2F2等。

原理

通过直流电源,使工作气体(氮气)进入等离子体反应器,在正负极强电流的作用下,被电离成等离子体,瞬间产生巨大的火焰,产生的高温火焰将废气分解。

优势

  1. 去除效率高,不需要燃料和热源,耗能低;
  2. 处理高沸点废气,应用范围广;
  3. 高温、反应速度快,
  4. 设备占地面积小、便于安装;

本装置的直流电弧等离子体为非转移型,两电极区域不参与反应,只产生等离子体,产生的火焰温度可达3000度以上。

等离子反应器的MTBF大于1年,反应室内腔的材质耐热和耐腐,具有四个进气口,装置具备冷却区、喷淋区及两级填料除雾区,对PFC温室气体的去除效率>90%。

尾气处理设备尾气处理设备

性能参数

去除效率 CF4>90%@150slm、NF3>95%@300slm
MTBF >6months;
MTTR <1.5hr
材质 内腔PTEE、水箱CPVC
等离子弧使用寿命 >1year
尺寸(mm) 800*800*1850
进气口 NW50*4
耗能 12kw for CF4>90%;9kw for NF3>95%
水量 <4slm

 

订购须知

关于价格:Local Scrubber尾气处理设备属于非标定制产品,价格需要根据企业废气排放量、浓缩倍数等因素决定,具体报价请联系我们。在格林斯达环保集团旗下环保设备厂采购Local Scrubber尾气处理设备设备的企业,一律享受厂家价格。