半导体酸排风管

半导体酸排管路所指的风管通常为涂层风管。涂层风管主要适用于泛半导体行业，包括半导体集成电路、液晶面板、大硅片等行业的酸碱排工艺废气系统，因其从机台产生的废气含有硫酸、盐酸、氢氟酸、氯气、氨气等酸碱腐蚀性气体，且工艺排气管道是要直接与洁净室的机台对接，对应酸碱排管道的耐腐蚀性要求很高，特氟龙涂层风管因其特性适用被大量应用，生产工艺是将特氟龙ETFE涂料高温喷涂z不锈钢风管内部，使其形成一定厚度的防腐涂层，被称为涂层风管。特氟龙材质特性：无毒无害、高纯洁净、抗化学腐蚀、耐高温、耐磨损性及润滑性、抗渗透性、阻燃性、金属离子隔jue性等，因此作为优良的耐腐蚀涂层材料被广泛应用。

格林斯达环保集团，泛半导体产业工艺废气治理系统解决方案提供商。自公司成立以来专注于半导体集成电路、泛半导体等行业酸碱、有机及有毒有害废气治理，为客户提供全生命周期的个性化废气处理解决方案及设备。目前已成功服务中芯国际（北京、天津、深圳、上海厂）、中芯北方、中芯南方、中芯京城、中芯绍兴、北方集成电路技术创新中心、华虹半导体、燕东微电子、积塔半导体、有研半导体、长江存储、长鑫存储、浙江大学杭州国际科创中心、广州芯粤能等众多半导体知名企业。

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