半导体行业废气处理解决方案

“半导体行业废气主要为生产过程中的工艺废气,可分为酸性废气、碱性废气、有机废气、一般废气四个系统,每个系统分类收集及治理,针对半导体行业的解决方案,一般是从生产机台废气对接口开始,包括从对接口到收集管路的二次配hook up部分和从收集管路到中央处理设备的废气主系统,要求末端烟囱排放满足各地区环保要求以及半导体厂系统运行的稳定性。

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