Local Scurbber尾气处理设备

  • 去除效率: CF4>90%@150slm、NF3>95%@300slm
  • 设备材质: 内腔PTEE、水箱CPVC
  • 设备尺寸: 800*800*1850
  • 设备能耗: 12kw for CF4>90%;9kw for NF3>95%
  • 设备水量: <4slm
咨询热线:400-9655-098

等离子水洗Local Scrubber设备:去除半导体Dry Etch、ThinFilm、Diffusion等晶圆工艺制程中使用或产生的PFC温室气体和有毒有害气体,如:CF4、NF3、SF6、C2F6、CHF3、CH2F2等。

原理

通过直流电源,使工作气体(氮气)进入等离子体反应器,在正负极强电流的作用下,被电离成等离子体,瞬间产生巨大的火焰,产生的高温火焰将废气分解。

优势

  1. 去除效率高,不需要燃料和热源,耗能低;
  2. 处理高沸点废气,应用范围广;
  3. 高温、反应速度快,
  4. 设备占地面积小、便于安装;

本装置的直流电弧等离子体为非转移型,两电极区域不参与反应,只产生等离子体,产生的火焰温度可达3000度以上。

等离子反应器的MTBF大于1年,反应室内腔的材质耐热和耐腐,具有四个进气口,装置具备冷却区、喷淋区及两级填料除雾区,对PFC温室气体的去除效率>90%。

尾气处理设备尾气处理设备

性能参数

去除效率 CF4>90%@150slm、NF3>95%@300slm
MTBF >6months;
MTTR <1.5hr
材质 内腔PTEE、水箱CPVC
等离子弧使用寿命 >1year
尺寸(mm) 800*800*1850
进气口 NW50*4
耗能 12kw for CF4>90%;9kw for NF3>95%
水量 <4slm