砷磷烷吸附塔

  • 设计风量: 1000CMH-60000CMH
  • 处理效率: >95%
  • 工作原理: 化学吸附
  • 处理气体类型: ASH3、PH3、BF3
  • 吸附剂填装量: 1-20吨
  • 更新时间: 2021-08-02 14:06:07
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工作原理介绍

利用化学反应、复分解反应等基本原理,与各种废气产生化学反应,生成稳定的无毒无害的化合物或者复合物,可直接用于修路、垃圾填埋等,不会产生二次污染。

砷磷烷吸附塔工作原理     砷磷烷吸附塔工作原理

工艺流程

砷磷烷吸附塔工艺流程图

砷磷烷吸附塔工艺流程图     砷磷烷吸附塔工艺流程图

半导体行业的含砷废气从机台端单独收集,形成独立的系统,砷烷磷烷的处理系统主要分为两个部分,d一阶段为Local Scrubber,即本地的干式吸附装置,采用的原理也是化学吸附,目前随着国j及各地区环保排放标准日驱严格,在含砷系统的Local Scrubber的基础上汇集到屋面时会在Central端再次进行干式吸附,使用的设备称为砷磷烷吸附塔,一般砷磷烷吸附塔也会配置一用一备模式,吸附后通过末端风机负压达标排放。

内部结构

砷磷烷吸附塔内部结构图

砷磷烷也可以称含砷废气吸附装置,一般也可分为立式和卧式两种结构,如上述内部结构图,立式吸附塔侧进上出,卧式吸附塔侧进侧出,分为初效吸附剂和主反应药剂两个部分,砷磷烷的关键点就在于吸附剂的选择和使用。

设计条件

  1. 废气风量

  2. 进气中成分及各成分占比

  3. 进气种含砷烷、磷烷及其他特气的浓度

  4. 进气温度、湿度情况

  5. 运行要求,24h连续运行或间歇运行

  6. 安装位置环境

价格标准

在砷磷烷吸附塔进行报价的过程中,要先要根据现场实际需求进行选型设计,选型主要是参照上述描述的设计条件,z终根据现场空间设计出砷磷烷吸附塔的图纸及吸附剂用量,核算出合理的市场价格。

 

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