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硅烷气体怎么处理?半导体硅烷废气处理方式及工艺流程

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硅烷即硅与氢的化合物,是一系列化合物的总称,包括甲硅烷( SiH4) 、乙硅烷( Si2H6) 和一些更g级的硅氢化合物,通式为SinH2n+2。其中,甲硅烷z为常见,有时也将甲硅烷简称为硅烷。那么你知道硅烷气体怎么处理吗?硅烷废气处理方式方法有哪些吗?工艺流程。下面格林斯达环保为您做简单介绍:

硅烷废气处理方法

硅烷作为一种提供硅组分的气体源,反应性和自燃性强烈,有非常宽的自发着火范围和极强的燃烧能量,毒性很大,如果人体吸入硅烷就会强烈刺激呼吸器官,是一种高危险性的气体。

在半导体工厂中,因工作区域一般离中心废气处理系统远,为了避免在冗长的排气过程中引发非预期的气体泄漏,局部聚积等问题,硅烷(SiH4)废气从无尘室机台端(POU)反应被排放出后,即先由真空Pump抽z废气处理设备Local Scrubber做处理,待处理过后的气体再接续到厂务端做第二道处置。

Local Scrubber

(格林斯达环保Local Scrubber设备)

通过直流电源,使工作气体(氮气)进入等离子体反应器,在正负极强电流的作用下,被电离成等离子体,瞬间产生巨大的火焰,产生的高温火焰将废气分解。优势在于去除效率高,不需要燃料和热源,耗能低; 处理高沸点废气,应用范围广; 高温、反应速度快, 设备占地面积小、便于安装;

 

以上就是《硅烷气体怎么处理?半导体硅烷废气处理方式及工艺流程》的全部内容。格林斯达环保专注半导体废气处理19年,zhi今服务于中芯国际、中芯北方、中芯南方、中芯绍兴、集电控股、积塔、有研、华虹、燕东微电子等半导体企业,中芯系覆盖70%以上,拥有众多半导体废气治理案例。如您有半导体废气处理需求,即刻联系我们吧!


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